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等離子清洗技術在引線鍵合工藝中的應用
在20世紀初期，等離子清洗技術開始得到應用，隨著科技的快速發(fā)展，其應用也越來越廣，像電子 行業(yè)（主要是半導體和光電工業(yè)）、橡膠、塑料、汽車、醫(yī)療、國防及纖維等領域。可見，等離子清洗技術的重要性。在半導體業(yè)中等離子清洗技術之所以成為不可或缺的一道工藝，其主要作用是能夠有效提高半導體元器件在生產(chǎn)制造過程中引線鍵合的合格率，提高產(chǎn)品的可靠性。根據(jù)統(tǒng)計，70%以上的半導體元器件產(chǎn)品失效主要原因是由鍵合失效引起，這是因為在半導體元器件生產(chǎn)制造過程中會受到污染，會有一些無機和有機的殘留物附著在鍵合區(qū)，會影響到鍵合效果，容易出現(xiàn)脫焊、虛焊和引線鍵合強度偏低等缺 陷，從而導致產(chǎn)品的長期可靠性沒有保證。采用等離子清洗技術可以將鍵合區(qū)的污染物進行有效的清楚， 提高鍵合區(qū)表面化學能及浸潤性，因此在引線鍵合前進行等離子清洗可以大大降低鍵合的失效率，提高產(chǎn)品的可靠性。
等離子清洗技術在半導體封裝中可以說是無處不在，下面列舉 6 大點：
（1）晶圓清洗：清除殘留光刻膠；
（2）封裝點銀膠前：使工件表面粗糙度及親水性大大提高，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼，同時可大大節(jié)省銀膠的使用量，降低成本；
（3）引線鍵合前清洗: 清潔焊盤，改善焊接條件，提高焊接可靠性及良率；
（4）塑封：提高塑封料與產(chǎn)品粘結的可靠性，減少分層風險；
（5）基板清洗：在 BGA 貼裝前對 PCB 上的 Pad 進行等離子體表面處理，可使 Pad 表面達到清潔、粗化和活化的效果，極大的提高了 BGA 貼裝的一次成功率；
（6）Flip Chip 引線框架清洗：經(jīng)等離子體處理可達到引陑框架表面超凈化和活化的效果，提高芯片的粘接質量。
在引線鍵合前進行等離子清洗可有效清除半導體元器件鍵合區(qū)上各種有機和無機污染物 ，如顆粒、金屬污染物及 氧化物等。從而達到提高鍵合強度，降低虛焊、 脫焊及引線鍵合強度低的發(fā)生概率。因此等離 子清洗能夠大大減少鍵合失效引起的產(chǎn)品失 效，長期可靠性得到有效的保證，提高產(chǎn)品的質量的一種有效的、不可或缺的工藝技術保證。
等離子清洗技術是干法清洗的一種重要方式，而且應用范圍也越來越廣，它可以對污染物不分材料對象進行清洗。經(jīng)過等離子清洗，半導體元器件產(chǎn)品引線鍵合的鍵合強度及鍵合推、拉力的一致性能夠顯著提高，不但能夠使鍵合工藝獲得非常好的的產(chǎn)品質量和成品率，還可以提升設備的產(chǎn)能擋機率。
